伟胜 自动化烤箱
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产品特色
- Wafer Size: 8” /12”(200 /300 mm)
- 无尘度: Class 10 / 100
- 含氧量:O2< 10 ppm
- 温度范围：室温~450℃，常温~450℃ < 80min(空炉测试)
- 降温速率:450℃降至80℃约60 min(空炉测试)
- 温度均匀度:450℃±3℃(Tool: TC Wafer with 5 points)
产品信息
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原厂名称
伟胜仪器有限公司 -
制程名称
OVEN烤箱 -
英文名称
Auto-Oven -
产品细目
自动化烤箱
