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佳宸 蚀刻设备 TC82 PR

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产品特色
  • 公自转转速可程控
  • 药液回收系统
  • 药液升降温系统
产品信息
  • 原厂名称
    佳宸
  • 制程名称
    Ti/Cu etcher
  • 英文名称
    Wet etcher
  • 产品细目
    蚀刻设备
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