佳宸 蚀刻设备 TC82 PR

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产品特色
- 公自转转速可程控
- 药液回收系统
- 药液升降温系统
产品信息
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原厂名称
佳宸 -
制程名称
Ti/Cu etcher -
英文名称
Wet etcher -
产品细目
蚀刻设备