PARK 原子力显微镜 NX-WAFER
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产品特色
- 提供在线高分辨率表面粗糙度、沟槽宽度、深度和角度量测。
- 实现多位置的直接可重复高分辨率量测。
- 能够扫描300mm 晶圆
产品信息
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原厂名称
Park -
制程名称
圆厂制程自动化量测200mm/300mm -
英文名称
NX-Wafer -
产品细目
在线型全自动AFM(晶圆厂)
