PARK 原子力显微镜 NX-TSH
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产品特色
- 超大型、超重型奈米平板显示器的自动原子力显微镜（AFM）系统
- 尖端扫描头和龙门式气浮台使Park NX-TSH能够精确量测影像粗糙度、台阶高度、临界尺寸。
- 可以在OLED、LCD、光掩模等上获得可靠、高分辨率的AFM影像。
产品信息
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原厂名称
Park -
制程名称
面板厂制程自动化量测 -
英文名称
NX-TSH -
产品细目
在线型全自动AFM(面板厂)
